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MTCS2601 熱導(dǎo)式壓力傳感器

一、熱導(dǎo)式壓力傳感器 MTCS2601 描述：

MTCS2601 傳感器由基于 MEMS 技術(shù)的 4 個(gè) Ni-Pt 電阻組成的微機(jī)械的熱電導(dǎo)率傳感器。此傳感器安裝在小型的 SMD 封裝內(nèi)。同時(shí)結(jié)合了低功耗 CMOS 標(biāo)準(zhǔn)集成電路，非常適合 OEC 廠商的泄漏檢測(cè)，或者基于帕拉尼原理的真空度檢測(cè)，需要超低功耗，長(zhǎng)壽命和免維護(hù)的產(chǎn)品。適用于惡劣環(huán)境下初級(jí)壓力控制，需要功耗和尺寸的限制，或者密閉空間中氣體泄漏或者水分， 或者侵入的監(jiān)測(cè)。

二、 熱導(dǎo)式壓力傳感器 MTCS2601特點(diǎn)：

MEMS 傳感器遵循沒(méi)有化學(xué)反應(yīng)的物理皮拉尼原理，基于氣體熱導(dǎo)率變化Vs壓力變化趨勢(shì)

測(cè)量范圍：0.0001~1000mbar，卓越的可重復(fù)性
硅晶片上有加熱電阻，并且有優(yōu)異的溫度補(bǔ)償
超小的傳感器氣體體積例如< 0.1cm3
穩(wěn)定和長(zhǎng)的 MTBF（>30000 小時(shí)） ，基于物理阻抗感應(yīng)原理
超低功耗消耗（<6mw）,由于使用了帶小加熱元件的 MEMS 傳感器
超快響應(yīng)時(shí)間<50ms< span="">
對(duì)安裝位置不敏感
可以使用在串?dāng)_氣體環(huán)境中
與一個(gè)簡(jiǎn)單恒定的溫度電路兼容

三、 熱導(dǎo)式壓力傳感器 MTCS2601應(yīng)用：

將該傳感器安裝在壓力閥或直接裝在真空溜管或系統(tǒng)中，例如小的機(jī)械抽真空系統(tǒng)、 真空泵和分析儀器。 泄露微型SMD傳感器可做專用壓力下的密閉系統(tǒng)或儀器控制的完整性檢測(cè)，它能做類似腐蝕或簡(jiǎn)單地盒子打開后的檢測(cè) (荷重元；飛輪系統(tǒng)；Dewar保溫真空瓶...)